◼产品描述
领创流体在气体质量流量测量与控制领域凭借卓越的技术实力脱颖而出。我们始终秉持为客户提供卓越、稳定可靠的气体测控技术及全方位解决方案的承诺。无论是半导体、太阳能光伏、汽车工业，还是新能源、医疗设备、环境监测、生化与生命科学领域，我们都能为客户量身定制高品质服务，精准满足气体测控及工艺管理的严苛要求。面对瞬息万变的市场需求与客户期望的持续提升，我们始终保持与时俱进，确保服务能适应终端应用的快速迭代，满足客户的多样化需求。
◼产品特性
优异重复性
T系列质量流量控制器因其在气体流量控制领域的卓越表现广受赞誉。其中，优异的重复性是其特性之一。无论是在连续运行模式还是间歇运行模式下，T系列质量流量控制器都能展现稳定可靠的性能。这意味着即使在长期使用过程中，T系列质量流量控制器的流量控制精度也能保持一致，为用户提供更精准可靠的气体流量控制解决方案。
气体质量流量控制器型号 | T70 |
性能参数 | 量程(N2当量) | 2 sccm – 5 slm | 5 slm – 23 slm | 23 slm – 50 slm |
控制范围1 | 预设气体：2% - 100% F.S. 多气多量程：5% - 100% F.S. |
流量精度 | ≤±1% S.P.(25%-100% F.S.)3 ≤±0.25% F.S.(2%-25% F.S.)3 |
响应时间 | ≤ 1.0 s4 |
阀门泄漏率 | 最大1*10^-11 Pa.m3/s (He) |
重复性 | ≤ ±0.15% F.S. |
工作条件 | 常规工作压力2 | (0.05 – 0.35)MPa | (0.07 - 0.25)MPa | (0.14 - 0.35)MPa |
最大工作压力5 | 0.48 MPa (≈70 psia) |
耐压5 | 最大3.0 MPa (≈435 psia) |
工作环境温度 | 标准产品：5℃ – 45℃ 高温一体式产品：45℃ - 70℃ 高温分体式产品： 70℃-120 ℃ |
阀门类型 | 常开(NO)、常闭(NC) |
材质 | 表面处理 | 符合Semi F19标准，EP Ra：≤5μinch |
材质 | 符合Semi F20标准，SUS 316L材质，UHP级 |
密封材料 | 金属 |
通信电路与电气接口 | 模拟信号通信：(4 - 20)mA，0 - 5 VDC，9P-Dsub*1 RS485数字通信：(4 - 20)mA，0 - 5 VDC，9P-Dsub*1，RS485：RJ11*2 Profibus协议通信：总线：9P-Dsub(F)*1；电源：9P-Dsub(M)*1 DeviceNet协议通信：5-Pin M12*1，RJ11*1 EtherCAT协议通信：RJ45*2，5-Pin M8*1 ProfiNet协议通信：RJ45*2，5-Pin M8*1 |
可选多气多量程 | 流量范围：2sccm – 50slm 控制范围：5% - 100% F.S. 精度：±1.5% (5-100% F.S.) 仅支持金属密封 仅支持数字通信、DeviceNet和EtherCAT通信 |
注意事项:
1. T系列产品控制范围可定制为1%至100% F.S.
2. 量程2sccm至5slm的T系列产品工作压力可定制至0.007MPa
3. 采用数字模式测量时环境温度为22℃±3℃
4. 响应时间从0至10% S.P.或更高，测量时环境温度为22℃±10℃
5. T70可定制耐高压版本
◼支持气体
本产品支持440种工业及特殊气体，涵盖以下类别:
• 常规工业气体(如N₂、O₂、Ar等);
• 半导体级特殊气体(包括蚀刻、沉积和掺杂用高纯气体);
• 定制混合气体(可根据客户需求提供精确配比方案);
如需确认特定气体是否在兼容列表中，请联系我们技术销售团队获取最新气体清单及适配方案。
◼通信协议
领创流体MFC产品支持传统模拟I/O、DeviceNet、Profibus、RS-485/Modbus RTU、EtherCAT、Profinet等工业总线和以太网通信协议。
编码 | 定义 | 选项 | 选项定义 |
I | 型号 | T70 | 气体质量流量控制器 |
II | 应用类型 | ST | 标准应用 |
LP | 低压差应用(PSID≈10 torr - 100 torr) |
HT | 高温应用(45℃ - 70℃)，一体式 |
HTS | 高温应用(45℃ - 120℃)，分体式 |
III | 配置类型 | C | 标准气柜(以N2校准，支持多气多量程) |
X | 预设气体(多对一，单一气体) |
IV | 气体或标准气柜 | XXXX-XXXX | 半导体特殊气体代码及量程 |
PS60-010C | 多气0：N2(当量) 10 sccm F.S. |
PS61-030C | 多气1：N2(当量) 30 sccm F.S. |
PS62-100C | 多气2：N2(当量) 100 sccm F.S. |
PS63-300C | 多气3：N2(当量) 300 sccm F.S. |
PS64-001L | 多气4：N2(当量) 1000 sccm F.S. |
PS65-003L | 多气5：N2(当量) 3000 sccm F.S. |
PS66-005L | 多气6：N2(当量) 5000 sccm F.S. |
PS67-010L | 多气7：N2(当量) 10000 sccm F.S. |
PS68-030L | 多气8：N2(当量) 30000 sccm F.S. |
PS69-050L | 多气9：N2(当量) 50000 sccm F.S. |
V | 管路接口与壳体宽度 | 63 | 1/4" VCR阳接口 |
65 | 1.125" C型密封 |
66 | 1.125" W型密封 |
73 | 1/2" VCR阳接口 |
VI | 阀门状态 | C | 常闭 |
O | 常开 |
VII | 密封材质 | M | 金属 |
VIII | 通信/供电接口 | DZ | RS485数字通信，兼容模拟，0 - 5 VDC，±15V供电 |
DY | RS485数字通信，兼容模拟，4mA -20mA，±15V供电 |
DX | RS485数字通信，兼容模拟，0 - 5 VDC，24V供电 |
DW | RS485数字通信，兼容模拟，4mA -20mA，24V供电 |
MZ | Modbus通信，兼容模拟，0 - 5 VDC，±15V供电 |
MY | Modbus通信，兼容模拟，4mA -20mA，±15V供电 |
MX | Modbus通信，兼容模拟，0 - 5 VDC，24V供电 |
MW | Modbus通信，兼容模拟，4mA -20mA，24V供电 |
PZ | ProfiBus协议通信，不支持多气多量程 |
NZ | DeviceNet协议通信 |
EZ | EtherCAT协议通信 |
RZ | ProfiNet协议通信，不支持多气多量程 |
IX | 特殊要求 | XXXX | 客户特殊要求代码 |
产品代码选择示例：T70型号，标准应用，多气多量程，1/4 VCR接口，阀门常闭，金属密封，DeviceNet通信 |
I | II | III | IV | V | VI | VII | VIII | IX |
T70 | ST | C | PS60-010C | 63 | C | M | DZ | XXXX |
