◼产品描述
随着半导体行业的发展，晶圆制造工艺尺寸持续缩小至2纳米甚至更低。在晶圆加工过程中，高精度、快速响应且可重复的气体流量控制方法至关重要。
随着小流量控制、短工艺时间和连续等离子体工艺的出现，高端MFC正致力于满足确保高良率和匹配反应腔所需的精度、稳定时间和重复性要求。
先锋元创流体的MFC为气体流量控制的未来铺平了道路。该产品将高精度MFM系统与控制阀技术相结合，并拥有专利。因此，先锋元创流体的MFC在关键流量指标上实现了数量级的提升，引领现有MFC技术，可应用于先进的晶圆制造工艺。
◼产品特点
先锋流体的MFC采用专利双阀控制设计，支持极高精度和极宽范围的流量测量。我们的MFC使用压力传感器和位置传感器，更准确、更快速地自动监测、测量和控制气体流量。对压力和温度不敏感
该产品采用独特的位置控制阀设计。这种设计使大流量MFC不受上下游压力或温度变化的影响。高精度MEMS传感器每毫秒监测一次被测气体的压力和温度。MFC控制系统将直接控制阀门移动到正确位置，无需考虑温度转换系数。
◼极短响应时间
中流量MFC在同类流量控制器产品中具有最短的稳定时间：改变气体流量设定后的响应时间小于300毫秒
(见下图)
0 - 20 slm 气体注入时间/开启时间 |
0 - 10 slm 气体注入时间/开启时间 | 
0 - 5 slm 气体注入时间/开启时间 |
质量流量控制器型号 | P110 |
性能 | 量程 | 100 - 50000 sccm |
流量精度 | ±1% 设定点精度 (10% - 100% F.S.): 0.5 slm - 5 slm, 2.0 slm − 20 slm, 5.0 slm - 50 slm ±0.25% 满量程精度 (2% - 10% F.S.): 0.1 slm - 0.5 slm, 0.4 slm - 2.0 slm,1.0 slm - 5.0 slm |
重复性 | 设定点精度: ±0.25% (10%-100% F.S.) |
响应时间 | ≤300 ms (10% - 100% F.S.); ≤ 500 ms (2% - 10% F.S.)* |
密封性 | ≤ 1E-9 atm·cc/sec (He) |
泄漏率 | <2.5 sccm |
工作条件 | 上游压力 | 标准: 276 - 448kPaG (40 - 65 psig) |
下游压力 | 真空至101 kPa (0 − 760 Torr) |
抗压强度 | 2.07 MPaG (300 psig) |
设计压力(爆破压力) | 3.10 MPaG (450 psig) |
工作温度 | 15−50°C |
材质 | 气体流路表面 | 316不锈钢，符合Semi F20标准的Inconel 625 |
表面处理 | 平均Ra值为5 µin |
密封件 | PCTFE |
通讯电路 | DeviceNet | 11 - 24 VDC, 5 W |
模拟和RS-485 | ±15 VDC, 150 mA |
浪涌电流 | <200 mA |
* 模拟控制时的设定点保持时间为60毫秒。此保持时间不包括本手册中所述的设备响应时间。使用模拟控制操作时，MFC设定点灵敏度最小为±50 mV，但不影响流量精度。测量设定点和相应的流量反馈可能与所需设定点相差此量(±50 mV)。为确保设备输入与控制器输出一致，建议进行模拟校准。 |
气体 | 气体编号 | 箱10: 5L | 箱20: 20L | 箱30: 50 L | 输入气体 压力范围 (psig) | 最大下游 气体压力
(Torr) |
最小 流量 | 满量程设定 | 最小 流量 | 满量程设定 | 最小 流量 | 满量程设定 |
最小 | 最大 | 最小 | 最大 |
最小 |
最大 |
氮气 | 13 | 100 | 2001 | 5000 | 400 | 5001 | 20000 | 1000 | 20001 | 50000 | 40 - 65 | 760 |
氩气 | 4 | 100 | 2001 | 5000 | 400 | 5001 | 20000 | 1000 | 20001 | 40000 | 40 - 65 | 760 |
二氧化碳 | 25 | 100 | 2001 | 5000 | 400 | 5001 | 20000 | 1000 | 20001 | 35000 | 40 - 65 | 760 |
氢气 | 7 | 400 | 5001 | 20000 | 1000 | 20001 | 50000 |
- |
- |
- | 40 - 65 | 760 |
氦气 | 1 | 400 | 2001 | 15000 | 1000 | 15001 | 50000 | 2000 | 50001 | 100000 | 40 - 65 | 760 |
氧气 | 15 | 100 | 2001 | 5000 | 400 | 5001 | 20000 | 1000 | 20001 | 45000 | 40 - 65 | 760 |
一氧化二氮 | 27 | 100 | 2001 | 5000 | 400 | 5001 | 20000 | 1000 | 20001 | 35000 | 40 - 65 | 760 |
三氟化氮 | 53 | 100 | 2001 | 2500 | 400 | 2501 | 10000 | 1000 | 10001 | 25000 | 40 - 65 | 760 |
氨气 | 29 | 120 | 2001 | 6000 | 500 | 6001 | 25000 |
- |
- |
- | 40 - 65 | 760 |
4% 氢气在氮气中 | 607 | 100 | 2001 | 5000 | 400 | 5001 | 20000 | 1000 | 20001 | 50000 | 40 - 65 | 760 |
5% 乙硼烷在氮气中 | 654 | 100 | 2001 | 5000 | 400 | 5001 | 20000 | 1000 | 20001 | 50000 | 40 - 65 | 760 |
如果您对其他气体和/或配置感兴趣，请联系我们的销售代表。
| 代码 | 定义 | 选项 | 选项描述 |
| I | 型号 | P110 | 气体流量控制器 |
| II | 特殊应用 | XX | 标准应用 |
| III | 配置 | X | 预设气体配置 |
| IV | 气体/标准箱 | XXXX XXXX | 半导体特种气体代码及量程 |
| V | 管道接口与外壳宽度 | 01 | VCR 1.125英寸 |
| 02 | C型密封 1.125英寸 |
| 03 | W型密封 1.125英寸 |
| VI | 阀门状态 | C | 常闭 |
| VII | 下游压力环境 | V | 真空 |
| A | 大气压力 - 此选项不支持低压气体输送，入口压力必须≥60psia |
| VIII | 通信/电源接口 | DeviceNet系列DA~DP
RS-485系列RA~RC
模拟系列AA~AL
EtherCAT系列EA | DeviceNet:
- 连接器: 5针微型
- 信号类型: 计数/整数/SCCM/浮点
- 波特率: 500KB/500 ms
- MAC ID范围: 6~22/7FFFh/603d等
- 启动状态: 空闲
- I/O状态切换轮询: 执行中
RS-485:
- 连接器: 9针D/RJ45
- 波特率: 115200
- 启动状态: 不适用
- I/O状态切换轮询: 不适用
模拟:
- 连接器: 9针D/20针Honda/卡边/DB9转DB15
- 功能: 阀门超控/流量反馈/电源/信号地
- 启动状态: 不适用
- I/O状态切换轮询: 不适用
EtherCAT:
- 连接器: 通讯: RJ45 / 电源: 5针Nano
- 状态: 初始化
- 信号延迟: 不适用
- 启动状态: 不适用
- I/O状态切换轮询: 不适用 |
| IX | 特殊要求 | XXXX | 客户特定需求代码 |
如果您对其他气体和/或配置感兴趣，请联系我们的销售代表。
标准应用型号代码示例 |
I | II | III | IV | V | VI | VII | VIII | IX |
P110 | XX | X | 0004-005L | 01 | C | A | DA | XXXX |
